Højrent kobbersputteringsmål – Firkantede (4N-6N)
Sputteringmål af højrent kobber – Proces- og kvalitetssikringserklæring
Vores firkantede kobbersputteringsmål er fremstillet efter de strenge standarder, der kræves for pålidelig tyndfilmsaflejring i avancerede belægningsprocesser.
Produktionen følger en nøje kontrolleret vakuumbaseret arbejdsgang for at opretholde ultrahøj renhed og materialekonsistens:
● Valg af råmateriale: Kun certificerede elektrolytiske kobberkatoder (≥99,99%) anvendes som udgangsmateriale.
● Vakuumsmeltning: Induktionssmeltning under højvakuum eller inert atmosfære minimerer iltoptagelse og flygtige urenheder.
● Støbning og raffinering: Kontrolleret retningsbestemt størkning producerer barrer med homogen sammensætning og minimal segregering.
● Varmbearbejdning: Smedning eller varmpresning opnår næsten teoretisk densitet og raffineret kornstruktur.
● Præcisionsbearbejdning: CNC-fræsning og -slibning producerer nøjagtige kvadratiske dimensioner med flade, parallelle overflader.
● Overfladebehandling: Flertrinspolering giver en spejlblank finish, der er egnet til brug i renrum.
● Valgfri binding: Indium- eller elastomerbinding til molybdæn/kobber-bagplader er tilgængelig til termisk styring.
● Slutrengøring og emballering: Ultralydsrensning i ultrarent vand, efterfulgt af vakuumforsegling i rene dobbeltlagsposer.
Kvalitetskontrolsystem
● Fuld sporbarhed fra rå katodeparti til færdigt mål
● Materialecertifikater og testrapporter leveres med hver forsendelse
● Opbevaring af arkivprøver i ≥3 år til tredjepartsverifikation (SGS, BV osv.)
● 100% inspektion af kritiske parametre:
• Renhed og urenheder (GDMS/ICP-MS-analyse; typisk ilt <10 ppm)
• Densitetsmåling (Arkimedes-metoden; ≥99,5%)
• Kornstørrelse og mikrostruktur (metallografisk undersøgelse)
• Dimensionsnøjagtighed (CMM; fladhed ≤0,05 mm typisk)
• Overfladeruhed og defekter (profilometer + visuel inspektion)
● Interne specifikationer overstiger ASTM F68-kravene. Typiske egenskaber: Varmeledningsevne >390 W/m·K, Elektrisk modstand <1,7 μΩ·cm, Konsistent sputterhastighed og filmkvalitet.
● Renrumskompatible processer og ISO 9001:2015-certificerede faciliteter sikrer, at alle mål opfylder de krævende behov i moderne PVD-applikationer.










