Højrent kobberskinne-sputteringsmål (4N-6N)
Video
Sputteringsmål af højrent kobberskinne – Proces- og kvalitetssikringserklæring
Vores kobberskinnemål er specielt udviklet til fysisk dampaflejring i store områder og store volumener, hvor ensartet belægning over længere længder er afgørende.
Vigtige procesfunktioner
Produktionen anvender avancerede metallurgiske og bearbejdningsteknikker for at levere ensartet ydeevne:
●Udgangsmateriale: Premium elektrolytiske kobberkatoder med verificeret ultrahøj renhed fungerer som base.
● Vakuumraffinering: Flere vakuumsmeltningstrin fjerner gasformige og metalliske urenheder for at opnå 4N-6N-niveauer.
● Kontinuerlig støbning: Kontrolleret varmeekstrudering eller kontinuerlig støbning producerer lange, tætte barrer med homogen struktur.
● Varmbearbejdning: Smedning og valsning forfiner kornstørrelsen og opnår næsten fuld teoretisk densitet.
● Præcisionsskæring og -bearbejdning: CNC-savning og -fræsning skaber nøjagtige rektangulære dimensioner med parallelle flader.
● Overfladebehandling: Flertrinsslibning og polering giver rene, defektfri sputteroverflader.
●Bindingsmuligheder: Indium- eller elastomerbinding ved lav temperatur til rustfri stål- eller molybdæn-bagplader er tilgængelig.
● Renrumsemballage: Endelig ultralydsrengøring og vakuumforsegling i dobbeltposer sikrer kontamineringsfri levering.
Kvalitetskontrolsystem
● Fuld sporbarhed fra katodekilde til færdigt samleskinnemål
● Fuld materialecertificering og testrapporter leveres med hver enhed
● Arkivprøver opbevares i ≥3 år til uafhængig verifikation (SGS, BV osv.)
● 100% inspektion af væsentlige parametre:
• Renhedsverifikation (GDMS/ICP-analyse; ilt typisk <5 ppm)
• Densitetstestning (≥99,5 % teoretisk)
• Evaluering af kornstruktur (metallografi)
• Dimensionsnøjagtighed (CMM; parallelisme ≤0,1 mm typisk)
• Overfladekvalitet og ruhed (profilometer + renrumsinspektion)
● Interne specifikationer overgår ASTM F68-standarderne. Typiske egenskaber: Varmeledningsevne >395 W/m·K, Konsistent lysbuefri sputtering, Høje aflejringshastigheder i magnetronsystemer.











